北方华创双响：离子注入机+12寸电镀设备
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发布时间：2025-05-06 21:52:52 3月26日，北方华创在SEMICON China 2025大会上宣告进军离子注入设备商场，发布首款离子注入机Sirius MC 313。离子注入设备在芯片制作中至关重要，能高精度、高效率改动半导体资料电功能。
据SEMI数据，2024年全球离子注入设备商场规模达276亿元，2030年有望升至307亿元，北方华创此举将撬动国内160亿元商场空间，助力我国半导体配备高端进阶。
同日，北方华创发布首款12英寸电镀设备Ausip T830，标志其进军电镀设备商场。该设备专为硅通孔铜填充规划，用于2.5D/3D先进封装范畴，至此北方华创在先进封装范畴构建了完好互连解决方案。电镀是PVD后道工艺，与PVD设备协同作业，使用广泛。跟着先进封装和三维集成技能发展，电镀设备全球商场规模已达80 - 90亿元，且仍在扩张，估计未来几年打破百亿。
北方华创的Ausip T830设备打破三十多项关键技能。设备支撑模块化定制和后续技能晋级，满意多样化需求。现在，该设备的电镀膜厚均匀性完成用户要求，可以有用填充孔直径2-12微米，孔深16-120微米的多种孔型产品。
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